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Plateforme lorraine de micro et nanotechnologies

De Wicri Lorraine

La Plateforme lorraine de micro et nanotechnologies (MiNaLor) est un centre de compétences, dont l'origine remonte à 1997, et au programme Pluri-Formations (PPF) initié par Patrick Alnot. Des financements départementaux, régionaux et européens avaient alors permis la construction d’une salle blanche équipée en lithographie optique, en pulvérisation cathodique et en gravure ionique réactive, sur le site du Laboratoire de physique des milieux ionisés et applications (LPMIA).

En 2001, une Équipe de recherche technologique (ERT) est constituée, qui ouvre l'utilisation de la salle blanche à de nouveaux partenaires, publics (le Laboratoire de physique des matériaux) et privés (Thalès, la SNR...), pour mettre au point des capteurs (magnétiques, de gaz ou de contraintes), des filtres pour les télécommunications et des mémoires magnétiques.

En 2004, grâce à un système de lithographie électronique, l’échelle nanométrique est atteinte, permettant une ouverture à de nouvelles thématiques (nanomagnétisme, nano-objets... Une première association avec la centrale strasbourgeoise se met en place, créant un ensemble reconnu au plan national, et par le ministère de l’enseignement supérieur et de la recherche.

Au 1e Janvier 2009, les cinq laboratoires impliqués dans les matériaux (dont trois utilisent la centrale) ont fusionné au sein de l’Institut Jean Lamour, qui intègre également la plateforme, désormais connue sous l'appellation MiNaLor. L’installation dans les futurs locaux du site Molitor (d'ici 2012) sera l'occasion de créer de nouvelles surfaces de salles blanches.

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