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Serveur d'exploration sur le LRGP - Analysis (USA)

Index « RBID.i » - entrée « ISTEX:B630914EE44879699BA13553A89B3061D66B23E0 »
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List of bibliographic references

Number of relevant bibliographic references: 1.
Ident.Authors (with country if any)Title
000189 (1995) R. M. Ranade [États-Unis] ; S. S. Ang [États-Unis] ; W. D. Brown [États-Unis]Effects of nitrogen trifluoride on the properties of plasma-enhanced chemical-vapor-deposited semi-insulating polysilicon films

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