<affiliation wicri:level="1"><inist:fA14 i1="01"><s1>Institute for Micro Process Engineering (IMVT), Forschungszentrum Karlsruhe GmbH, Hermann-von-Helmholtz Platz 1</s1>
<s2>76344 Eggenstein-Leopoldshafen</s2>
<s3>DEU</s3>
<sZ>1 aut.</sZ>
<sZ>2 aut.</sZ>
<sZ>3 aut.</sZ>
</inist:fA14>
<country>Allemagne</country>
<wicri:noRegion>76344 Eggenstein-Leopoldshafen</wicri:noRegion>
<wicri:noRegion>Hermann-von-Helmholtz Platz 1</wicri:noRegion>
<wicri:noRegion>76344 Eggenstein-Leopoldshafen</wicri:noRegion>
</affiliation>