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Serveur d'exploration sur l'Indium - Analysis (Russie)

Index « Keywords » - entrée « Insulating materials »
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Insulating material < Insulating materials < Integrated circuit  Facettes :

List of bibliographic references

Number of relevant bibliographic references: 1.
Ident.Authors (with country if any)Title
000812 (2002) Metalorganic chemical vapor deposition of oxide films on semiconductor substrates using aluminum, gallium, and indium alkyl chloride precursors

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EXPLOR_STEP=IndiumV3/Data/Russie/Analysis

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