IndiumV3, Russie, Analysis, indexItem, Author.i, V. I. Obodnikov

V. I. Nuzhdin < V. I. Obodnikov < V. I. Panov

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Ident.	Authors (with country if any)	Title
001446 (1994-03)		Redistribution of beryllium in InSb and InAs resulting from ion implantation and subsequent annealing
001626 (1992)		Redistribution of magnesium in InAs during postimplantation annealing
001B28 (1988)

List of associated KwdEn.i

Nombre de documents	Descripteur
3	Ion implantation
2	Experimental study
2	Indium Arsenides
2	Semiconductor materials
1	Annealing
1	Argon
1	Barrier
1	Beryllium
1	Beryllium ions
1	Concentration distribution
1	Distribution
1	Doping
1	Gettering
1	Impurity
1	Impurity density
1	Indium antimonides
1	Indium arsenides
1	Inorganic compound
1	Layers
1	Magnesium
1	Microelectronic fabrication
1	P n junction
1	Planar technology
1	SIMS
1	Secondary ion mass spectrometry
1	Semimetal
1	Temperature
1	Temperature range 0400-1000 K
1	Temperature range 1000-4000 K
1	Thermal annealing
1	Voltage current curve
1	Wafer

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Data generation: Mon Jun 9 10:27:54 2014. Site generation: Thu Mar 7 16:19:59 2024

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