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Index « Keywords » - entrée « Inductively coupled plasma »
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Inductive coupling plasma spectrometry < Inductively coupled plasma < Inductor  Facettes :

List of bibliographic references

Number of relevant bibliographic references: 5.
Ident.Authors (with country if any)Title
000174 (2011) Structural analysis of site-controlled InAs/InP quantum dots
000350 (2010) Cathodoluminescence Study of InP Photonic Structures Fabricated by Dry Etching
000551 (2008) Introduction of defects during the dry etching of InP photonic structures : a cathodo-luminescence study
001088 (2001-07) Dépôts de nitrure de silicium assistés par plasma à couplage inductif ICP-PECVD. Application à la passivation du transistor à haute mobilité électronique GaInAs/InP
001224 (2001) Inductively coupled plasma -- plasma enhanced chemical vapor deposition silicon nitride for passivation of InP based high electron mobility transistors (HEMTs)

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