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Serveur d'exploration sur l'Indium - Analysis (France)

Index « Auteurs » - entrée « L. Houlet »
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L. Horiuchi < L. Houlet < L. Höeger  Facettes :

List of bibliographic references

Number of relevant bibliographic references: 3.
Ident.Authors (with country if any)Title
001332 (2000-07) Estimation of surface kinetic parameters and two-dimensional simulation of InP pattern features during CH4-H2 plasma etching
001541 (1999-09) Microscopic modeling of InP etching in CH4-H2 plasma
001666 (1999) Simulation of mesa structures for III-V semiconductors under ion beam etching

List of associated KwdEn.i

Nombre de
documents		Descripteur
2Computerized simulation
2III-V semiconductors
2Indium compounds
2Sputter etching
2Theoretical study
1Angle of incidence
1Argon
1Chemisorption
1Circuit design
1Computer aided design
1Desorption
1Dry etching
1Etching
1Gallium arsenides
1III-V compound
1Indium phosphide
1Ion beam etching
1Lithography
1Mask
1Modeling
1Monte Carlo methods
1Patterning
1Semiconductor materials
1Sputter coating
1Sputtering
1Surface topography
1rough surfaces

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EXPLOR_STEP=IndiumV3/Data/France/Analysis

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   |clé=    L. Houlet
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