IndiumV3, France, Analysis, indexItem, Author.i, J. M. Le Solliec

J. M. Layet < J. M. Le Solliec < J. M. Lecuire

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Ident.	Authors (with country if any)	Title
001A42 (1998)		A Monte carlo simulation of silicon nitride thin film microstructure in ultraviolet localized-chemical vapor deposition

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Nombre de documents	Descripteur
1	CVD
1	Fabrication structure relation
1	Hydrogen additions
1	Microstructure
1	Monte Carlo methods
1	Silicon nitrides
1	Simulation
1	Theoretical study
1	Thin films
1	Ultraviolet radiation

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	Serveur d'exploration sur l'Indium - Analysis (France) Index « Auteurs » - entrée « J. M. Le Solliec »
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