IndiumV3, France, Analysis, indexItem, Author.i, A. Rhallabi

A. Reydet < A. Rhallabi < A. Rhandour

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Number of relevant bibliographic references: 5.

Ident.	Authors (with country if any)	Title
000350 (2010)		Cathodoluminescence Study of InP Photonic Structures Fabricated by Dry Etching
000816 (2006)		InP surface properties under ICP plasma etching using mixtures of chlorides and hydrides
001332 (2000-07)		Estimation of surface kinetic parameters and two-dimensional simulation of InP pattern features during CH4-H2 plasma etching
001541 (1999-09)		Microscopic modeling of InP etching in CH4-H2 plasma
001666 (1999)		Simulation of mesa structures for III-V semiconductors under ion beam etching

List of associated KwdEn.i

Nombre de documents	Descripteur
4	III-V semiconductors
3	Indium phosphide
2	Chlorine
2	Computerized simulation
2	Dry etching
2	III-V compound
2	Indium compounds
2	Plasma etching
2	Sputter etching
2	Theoretical study
1	Angle of incidence
1	Argon
1	Atomic force microscopy
1	Binary compound
1	Boron nitride
1	Cathodoluminescence
1	Charge carrier density
1	Chemisorption
1	Circuit design
1	Computer aided design
1	Deep level
1	Defect formation
1	Defect level
1	Defect states
1	Defects
1	Desorption
1	Energy gap
1	Etching
1	Finite element method
1	Formation mechanism
1	Free carrier
1	Gallium arsenides
1	Gallium selenides
1	Inductively coupled plasma
1	Initial conditions
1	Inorganic compound
1	Integrated optics
1	Ion beam etching
1	Kinetics
1	Lithography
1	Luminescence
1	Mask
1	Material processing
1	Mechanical stress
1	Microelectronic fabrication
1	Modeling
1	Monte Carlo methods
1	Patterning
1	Photoelectric devices
1	Raman spectrum
1	Residual stresses
1	Ridge waveguides
1	Roughness
1	Semiconductor materials
1	Sputter coating
1	Sputtering
1	Strain distribution
1	Stress distribution
1	Surface properties
1	Surface recombination
1	Surface topography
1	Velocity
1	Waveguides
1	X-ray photoelectron spectra
1	rough surfaces

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Data generation: Mon Jun 9 10:27:54 2014. Site generation: Thu Mar 7 16:19:59 2024

	Serveur d'exploration sur l'Indium - Analysis (France) Index « Auteurs » - entrée « A. Rhallabi »
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