Serveur d'exploration sur l'Indium - Analysis (Chine)

Index « Auteurs » - entrée « GUANG DI SHEN »
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GUANG CHEN < GUANG DI SHEN < GUANG JUN ZHOU  Facettes :

List of bibliographic references

Number of relevant bibliographic references: 1.
Ident.Authors (with country if any)Title
000F73 (2009) A Study on the Cl2/C2H4/Ar Plasma Etching of ITO Using Inductively Coupled Plasma

List of associated KwdEn.i

Nombre de
documents
Descripteur
1Etching rate
1Gallium selenides
1Indium oxide
1Inductively coupled plasma
1Microelectronic fabrication
1Microstructure
1Photolithography
1Photoresists
1Plasma
1Plasma etching
1Scanning electron microscopy
1Thin films
1Tin
1Tin oxide

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   |flux=    Chine
   |étape=   Analysis
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   |index=    Author.i
   |clé=    GUANG DI SHEN
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Wicri

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Data generation: Mon Jun 9 10:27:54 2014. Site generation: Thu Mar 7 16:19:59 2024