Serveur d'exploration sur la télématique - Checkpoint (Istex)

Index « RBID.i » - entrée « ISTEX:FFEF262B5EACD68CFB0FA1E2F34B011E57604446 »
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ISTEX:FFEDADB8D4B8CFF77209B85CF5E05C09449862A9 < ISTEX:FFEF262B5EACD68CFB0FA1E2F34B011E57604446  Facettes :

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Ident.Authors (with country if any)Title
004B65 (1991) Statistical equipment modeling for VLSI manufacturing: an application for LPCVD

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