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Serveur d'exploration H2N2 - Corpus (PascalFrancis)

Index « RBID.i » - entrée « Pascal:07-0084222 »
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Ident.Authors (with country if any)Title
000040 (2006) X. T. Chen ; D. Gui ; Z. Q. Mo ; A. Y. Du ; D. Z. Chi ; W. D. Wang ; Y. H. Wang ; D. Lu ; L. J. Tang ; W. H. Li ; L. Y. WongEffect of plasma process on low-k material and barrier layer performance

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