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Serveur d'exploration H2N2 - Checkpoint (PascalFrancis)

Index « Auteurs » - entrée « L. Y. Wong »
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L. Simonsen < L. Y. Wong < LIBO DONG  Facettes :

List of bibliographic references

Number of relevant bibliographic references: 1.
Ident.Authors (with country if any)Title
000044 (2006) X. T. Chen [Singapour] ; D. Gui [Singapour] ; Z. Q. Mo [Singapour] ; A. Y. Du [Singapour] ; D. Z. Chi [Singapour] ; W. D. Wang [Singapour] ; Y. H. Wang [Singapour] ; D. Lu [Singapour] ; L. J. Tang [Singapour] ; W. H. Li [Singapour] ; L. Y. Wong [Singapour]Effect of plasma process on low-k material and barrier layer performance

List of associated FC03.fr.i

Nombre de
documents		Descripteur
18540L
1Couche barrière
1Cu
1Cuivre
1Diffusion(transport)
1Diélectrique basse permittivité
1Endommagement
1Etude expérimentale
1Implémentation
1Interconnexion
1Matériau poreux
1Performance
1Polymère
1Profil profondeur
1Recuit thermique
1Spectre SIMS
1Traitement par plasma

Pour manipuler ce document sous Unix (Dilib)

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Data generation: Tue Apr 14 19:59:40 2020. Site generation: Thu Mar 25 15:38:26 2021