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Index « Keywords » - entrée « Chemical vapor deposition »
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Chemical synthesis < Chemical vapor deposition < Chemistry  Facettes :

List of bibliographic references indexed by Chemical vapor deposition

Number of relevant bibliographic references: 1.
Ident.Authors (with country if any)Title
002062 (1991) Y. Someno [Japon] ; M. Sasaki ; T. HiraiLow temperature growth of ain films by microwave plasma chemical vapour deposition using an AlBr3-H2N2 gas system

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