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Serveur d'exploration sur l'opéra - Checkpoint (PascalFrancis)

Index « PascalFr.i » - entrée « Effet proximité(lithographie) »
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Effet non linéaire < Effet proximité(lithographie) < Effet psychologique  Facettes :

List of bibliographic references

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Ident.Authors (with country if any)Title
000357 (2004-02) Jai-Cheol Lee [Corée du Sud] ; Yong-Ho Oh [Corée du Sud] ; Sungwoo Lim [Corée du Sud] ; Chun Soo Go [Corée du Sud] ; Sung Su Roh [Corée du Sud]Monte-Carlo-Based Automatic Design of Chromeless Phase Shift Mask

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