LrgpV1, USA, Analysis, indexItem, Author.i, R. M. Ranade

R. Langer < R. M. Ranade < R. M. Srivastava

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Ident.	Authors (with country if any)	Title
000189 (1995)	R. M. Ranade [États-Unis] ; S. S. Ang [États-Unis] ; W. D. Brown [États-Unis]	Effects of nitrogen trifluoride on the properties of plasma-enhanced chemical-vapor-deposited semi-insulating polysilicon films
000219 (1991)	R. M. Ranade [États-Unis] ; S. S. Ang [États-Unis] ; W. D. Brown [États-Unis] ; H. A. Naseem [États-Unis] ; J. R. Yeargan [États-Unis] ; R. K. Ulrich [États-Unis]	Semi-insulating polysilicon heterojunctions on silicon

List of associated KwdEn.i

Nombre de documents	Descripteur
2	Activation energy
2	Annealing
2	Current density
2	Heterojunction
2	Heterojunctions
2	Oxygen content
2	Room temperature
2	Silicon
2	Sipos
2	Sipos films
2	Undoped
1	Absorption peak
1	Activation energies
1	Barrier height
1	Barrier heights
1	Bias characteristics
1	Carrier conduction
1	Carrier transport
1	Conduction
1	Conduction region
1	Crystalline silicon
1	Deconvoluted peaks
1	Deposition rate
1	Doping
1	Electrical characteristics
1	Flow rate
1	Fluorine
1	Ftir
1	Ftir plot
1	Higher oxygen content
1	Hydrogen annealing
1	Hydrogenation
1	Ieee trans
1	Interface
1	Interface states
1	Kcal mole
1	Mode peak
1	Native oxide
1	Nitrogen ambient
1	Nitrogen trifluoride
1	Nitrous oxide flow rate
1	Plasma hydrogenation
1	Polysilicon
1	Polysilicon heterojunctions
1	Predominant conduction mechanism
1	Ranade
1	Reactant
1	Reciprocal temperature plot
1	Refractive
1	Refractive index
1	Silicon grains
1	Silicon heterojunction
1	Sipos film
1	Sipos heterojunction
1	Smaller oxygen content
1	Solid lines
1	Temperature coefficient
1	Texas instruments
1	Thermionic emission
1	Trace amount
1	Trifluoride
1	Typical undoped sipos
1	Undoped heterojunctions
1	Undoped sipos
1	Unfluorinated
1	Unfluorinated sipos films
1	Unfluorinated sipos heterojunction
1	Unfluorinated sipos heterojunctions
1	Volt

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                -Sk "R. M. Ranade" \
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Data generation: Sat Nov 11 15:47:48 2017. Site generation: Wed Mar 6 23:31:34 2024

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