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Serveur d'exploration sur Pittsburgh - Checkpoint (PascalFrancis)

Index « Auteurs » - entrée « G. Bersuker »
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G. Berenson < G. Bersuker < G. Biesmans  Facettes :

List of bibliographic references

Number of relevant bibliographic references: 1.
Ident.Authors (with country if any)Title
000C35 (2014) K. S. Min [Corée du Sud] ; S. H. Kang [Corée du Sud] ; J. K. Kim [Corée du Sud] ; J. H. Yum [États-Unis] ; Y. I. Jhon [États-Unis] ; Todd W. Hudnall [États-Unis] ; C. W. Bielawski [États-Unis] ; S. K. Banerjee [États-Unis] ; G. Bersuker [États-Unis] ; M. S. Jhon [États-Unis] ; G. Y. Yeom [Corée du Sud]Atomic layer etching of BeO using BCl3/Ar for the interface passivation layer of III-V MOS devices

List of associated FC03.fr.i

Nombre de
documents		Descripteur
16843
1Adsorption
1Composé III-V
1Couche interfaciale
1Couche ultramince
1Dispositif semiconducteur
1Diélectrique permittivité élevée
1Désorption
1Endommagement
1Gravure
1Minimisation
1Passivation
1Rugosité
1Semiconducteur III-V
1Structure MOS
1Vitesse gravure

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   |clé=    G. Bersuker
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Data generation: Fri Jun 18 17:37:45 2021. Site generation: Fri Jun 18 18:15:47 2021