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J. K. Kim2
Semiconducteur III-V5
J. K. Kim Sauf Semiconducteur III-V" 0
Semiconducteur III-V Sauf J. K. Kim" 3
J. K. Kim Et Semiconducteur III-V 2
J. K. Kim Ou Semiconducteur III-V 5
Corpus7667
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List of bibliographic references

Number of relevant bibliographic references: 2.
Ident.Authors (with country if any)Title
000C35 K. S. Min [Corée du Sud] ; S. H. Kang [Corée du Sud] ; J. K. Kim [Corée du Sud] ; J. H. Yum [États-Unis] ; Y. I. Jhon [États-Unis] ; Todd W. Hudnall [États-Unis] ; C. W. Bielawski [États-Unis] ; S. K. Banerjee [États-Unis] ; G. Bersuker [États-Unis] ; M. S. Jhon [États-Unis] ; G. Y. Yeom [Corée du Sud]Atomic layer etching of BeO using BCl3/Ar for the interface passivation layer of III-V MOS devices
002056 K. S. Min [Corée du Sud] ; S. H. Kang [Corée du Sud] ; J. K. Kim [Corée du Sud] ; Y. I. Jhon [États-Unis] ; M. S. Jhon [États-Unis] ; G. Y. Yeom [Corée du Sud]Atomic layer etching of A12O3 using BCl3/Ar for the interface passivation layer of III-V MOS devices : Nanofabrication 2012
Wicri

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