Actionneur électrostatique And NotCONGZHONG GUO

List of bibliographic references

Number of relevant bibliographic references: 1.

Ident.	Authors (with country if any)	Title
000832	K. L. Dorsey [États-Unis] ; S. S. Bedair [États-Unis] ; G. K. Fedder [États-Unis]	Gas chemical sensitivity of a CMOS MEMS cantilever functionalized via evaporation driven assembly

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