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Serveur d'exploration sur les relations entre la France et l'Australie - Checkpoint (PascalFrancis)

Index « Auteurs » - entrée « M. C. Peignon »
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M. C. Patterson < M. C. Peignon < M. C. Pham  Facettes :

List of bibliographic references

Number of relevant bibliographic references: 1.
Ident.Authors (with country if any)Title
006611 (1997) M. C. Peignon [France] ; G. Turban [France] ; C. Charles [Australie] ; R. W. Boswell [Australie]Surface modelling of reactive ion etching of silicon-germanium alloys in a SF6 plasma

List of associated FC03.fr.i

Nombre de
documents		Descripteur
1Alliage binaire
1Etude expérimentale
1Fabrication microélectronique
1Germanium alliage
1Germanium fluorure
1Gravure ionique réactive
1Gravure plasma
1Microélectronique
1Modélisation
1Semiconducteur
1Silicium alliage
1Silicium fluorure
1Silicium sulfure
1Soufre fluorure
1Spectrométrie photoélectron
1Traitement surface

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