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Serveur d'exploration sur Pittsburgh - Checkpoint (PascalFrancis)

Index « Auteurs » - entrée « Valeriy Felmetsger »
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Valerie Tallerico < Valeriy Felmetsger < Valery Lavergne  Facettes :

List of bibliographic references

Number of relevant bibliographic references: 1.
Ident.Authors (with country if any)Title
002C70 (2012) Gianluca Piazza [États-Unis] ; Valeriy Felmetsger [États-Unis] ; Paul Muralt [Suisse] ; Roy H. Iii Olsson [États-Unis] ; Richard Ruby [États-Unis]Piezoelectric aluminum nitride thin films for microelectromechanical systems : Thin-film piezoelectric MEMS

List of associated FC03.fr.i

Nombre de
documents		Descripteur
1AlN
1Couche mince piézoélectrique
1Dispositif microélectromécanique
1Dopage
1Haute performance
1Modification structure
1Nanomatériau
1Nitrure d'aluminium
1Résonateur acoustique
1Résonateur piézoélectrique
1Stabilité phase
1Technologie MOS complémentaire
1Transformation phase
1Transistor
1Vibration mécanique

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                -Sk "Valeriy Felmetsger" \
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   |index=    Author.i
   |clé=    Valeriy Felmetsger
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Data generation: Fri Jun 18 17:37:45 2021. Site generation: Fri Jun 18 18:15:47 2021