Structure 3 dimensions < Structure MOS < Structure adsorption | Facettes : |
List of bibliographic references
Number of relevant bibliographic references: 2.Ident. | Authors (with country if any) | Title |
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000C35 (2014) | K. S. Min [Corée du Sud] ; S. H. Kang [Corée du Sud] ; J. K. Kim [Corée du Sud] ; J. H. Yum [États-Unis] ; Y. I. Jhon [États-Unis] ; Todd W. Hudnall [États-Unis] ; C. W. Bielawski [États-Unis] ; S. K. Banerjee [États-Unis] ; G. Bersuker [États-Unis] ; M. S. Jhon [États-Unis] ; G. Y. Yeom [Corée du Sud] | Atomic layer etching of BeO using BCl3/Ar for the interface passivation layer of III-V MOS devices |
002056 (2013) | K. S. Min [Corée du Sud] ; S. H. Kang [Corée du Sud] ; J. K. Kim [Corée du Sud] ; Y. I. Jhon [États-Unis] ; M. S. Jhon [États-Unis] ; G. Y. Yeom [Corée du Sud] | Atomic layer etching of A12O3 using BCl3/Ar for the interface passivation layer of III-V MOS devices : Nanofabrication 2012 |
List of associated Author.i
Nombre de documents | Descripteur |
---|---|
2 | G. Y. Yeom |
2 | J. K. Kim |
2 | K. S. Min |
2 | M. S. Jhon |
2 | S. H. Kang |
2 | Y. I. Jhon |
1 | C. W. Bielawski |
1 | G. Bersuker |
1 | J. H. Yum |
1 | S. K. Banerjee |
1 | Todd W. Hudnall |
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