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Serveur d'exploration sur Pittsburgh - Checkpoint (PascalFrancis)

Index « Auteurs » - entrée « J. A. Ohlhausen »
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J. A. Norton < J. A. Ohlhausen < J. A. Shaver  Facettes :

List of bibliographic references

Number of relevant bibliographic references: 1.
Ident.Authors (with country if any)Title
003911 (2012) M. P. De Boer [États-Unis] ; D. A. Czaplewski [États-Unis] ; M. S. Baker [États-Unis] ; S. L. Wolfley [États-Unis] ; J. A. Ohlhausen [États-Unis]Design, fabrication, performance and reliability of Pt- and RuO2-coated microrelays tested in ultra-high purity gas environments

List of associated FC03.fr.i

Nombre de
documents		Descripteur
1Atmosphère contrôlée
1Contact ohmique
1Contamination
1Dispositif microélectromécanique
1Fiabilité
1Microscopie électronique balayage
1Microusinage
1Métal transition
1Oxydation
1Oxyde de ruthénium
1Platine
1Procédé dépôt
1Procédé fabrication
1Relais miniature
1RuO2
1Résistance contact
1Silicium polycristallin
1Sous structure
1Spectrométrie Auger
1Transducteur thermique

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Data generation: Fri Jun 18 17:37:45 2021. Site generation: Fri Jun 18 18:15:47 2021